영창케미칼, 반도체 핵심 공정용 신소재 2종 양산… 1분기부터 매출 반영 기대
뉴스와이어신상품
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2023.01.27 08:40
국산화 1세대 반도체 소재 기업 영창케미칼이 반도체 필수 공정용 신소재 2종의 신제품 양산을 시작한다고 27일 밝혔다.
이번에 양산되는 2종의 신소재는 CMP* 공정용 ‘텅스텐 슬러리(slurry)’와 ‘TSV 슬러리’다. 고집적 반도체 생산을 위해서는 수십 번의 CMP 공정이 반드시 필요한데, 두 슬러리는 CMP 공정의 핵심 소재다.
* CMP(Chemical Mechanical Planarization): 웨이퍼 박막(film)을 ...
