ACM 리서치, 세미클렌징 라인 설비로 Ultra C 제품 체인 확대

반도체 첨단 WLP 애플리케이션을 위한 웨이퍼 공정 솔루션의 선도 공급 업체인 ACM 리서치(ACM Research)는 프런트사이드/백사이드(Front- & Backside) 공정을 위한 세 가지 Ultra C 습식 세정 장비 제품들을 소개했다. 이번에 발표된 장비들은 백사이드 세정용 Ultra C b, 자동 습식 세정 벤치 Ultra C wb 그리고 Ultra C s 스크러버(scrubber)로 ACM의 혁신적인 습식 공정 기술을 광범위한 애플리케이...